10th International Conference on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition【協賛】

■日時

2018年9月3日（月）-6日（木）

■場所

北九州国際会議場

■リンク

http://www.cat-cvd.jp/

■主旨

Cat-CVD（触媒化学気相堆積）法は、加熱した触媒体上でのガス分子の分解を利用して薄膜を堆積する技術であり、気相中ではラジカルのみが生成されるためイオン損傷のない薄膜堆積ができるなどの特徴を有している。本会合では、Cat-CVD技術の基礎的理解を深め、応用分野のなお一層の展開が図られるように、議論や情報交換を行う。

■シンポジウム委員長／主催

和泉　亮 / Cat-CVD研究会

最終更新日： 2018年1月5日