第14回Cat-CVD研究会【協賛】

■日時

2017年7月14日（金）-15日（土）

■場所

リーガホテル　ゼスト高松 (〒760-0025　香川県高松市古新町9-1)

■リンク

http://www.cat-cvd.jp/free01.html

■主旨

Cat-CVD（触媒化学気相堆積）法は、加熱した触媒体上でのガス分子の分解を利用して薄膜を堆積する技術であり、Cat-CVD（触媒化学気相堆積）法は、加熱した触媒体上でのガス分子の分解を利用して薄膜を堆積する技術であり、気相中ではラジカルのみが生成されるためイオン損傷のない薄膜堆積ができるなどの特徴を有している。本会合では、Cat-CVD技術の基礎的理解を深め、応用分野のなお一層の展開が図られるように、議論や情報交換を行う。

■シンポジウム委員長／主催

山本　雅史（第14会Cat-CVD研究会実行委員長）/Cat-CVD研究会

■会費

日本放射線化学会員（協賛学協会員）は参加費減額あり。

最終更新日： 2017年4月20日